Trockenätzausrüstung – Ausschreibungen (CPV 22520000)

Was umfasst der CPV-Code 22520000?

Der CPV-Code 22520000 – Trockenätzausrüstung klassifiziert öffentliche Aufträge für Anlagen und Geräte zur Durchführung von Trockenätzprozessen, die in der Halbleiterfertigung, Mikroelektronik und Oberflächentechnik eingesetzt werden. Darunter fallen Plasmaätzanlagen, reaktive Ionenätzsysteme (RIE), induktiv gekoppelte Plasmaätzer (ICP) sowie verwandte Prozessanlagen für die Strukturierung von Halbleiterschichten und Substrate in Reinraumumgebungen.

Trotz ihrer Klassifikation unter CPV-Abteilung 22 (Drucksachen und zugehörige Erzeugnisse) handelt es sich bei dieser Ausrüstung um hochspezialisierte Forschungs- und Fertigungsanlagen. Im Rahmen der öffentlichen Vergabe wird CPV 22520000 insbesondere von Forschungseinrichtungen, Fraunhofer-Instituten und Leibniz-Instituten genutzt, die Trockenätzanlagen für Reinraumlabore und Mikrofabrikationsanlagen beschaffen. CPV 22520000 gehört zur Klasse innerhalb der Druckplatten oder Druckwalzen oder andere Träger zur Verwendung bei Druckarbeiten in der Abteilung Drucksachen und zugehörige Erzeugnisse. Weiterführende Informationen zum Klassifikationssystem bietet die Europäische Kommission (SIMAP) sowie die Verordnung (EG) Nr. 213/2008.

Ausschreibungen mit CPV 22520000 in Zahlen

Die folgenden Kennzahlen beruhen auf öffentlichen Vergabedaten aus Deutschland (2021–2026).

Kennzahl	Wert
Ausschreibungen mit CPV 22520000 (direkt)	6
Inklusive Unterkategorien	6

Entwicklung der Ausschreibungszahlen (jährlich):

Jahr	Ausschreibungen
2023	1
2024	2
2025	3

Regionale Verteilung (nach Bundesland, Top):

Bundesland	Ausschreibungen
Bayern	4
Berlin	2

Zu den aktivsten öffentlichen Auftraggebern in dieser Kategorie zählen die Fraunhofer-Gesellschaft (Einkauf B12) sowie das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik.

Typische Untergruppen und Leistungen

Der CPV-Code 22520000 gliedert sich in folgende Unterkategorie:

CPV-Code	Bezeichnung	Ausschreibungen 2021–2026
22521000	Prägeausrüstung	–

Typische Leistungen im Bereich Trockenätzausrüstung umfassen:

• Lieferung und Inbetriebnahme von Plasmaätzanlagen für Reinraumlabore
• Reaktive Ionenätzsysteme (RIE) für die Silizium- und III-V-Halbleiterstrukturierung
• Induktiv gekoppelte Plasmaätzer (ICP-RIE) für hochauflösende Nanostrukturierung
• Wartung und Qualifizierung bestehender Ätzanlagen in der Forschungsfertigung

Beispiele für Ausschreibungen mit CPV 22520000

• Beschaffung einer ICP-Plasmaätzanlage für ein Forschungsreinraum: Ein Fraunhofer-Institut schreibt die Lieferung und Qualifizierung einer induktiv gekoppelten Plasmaätzanlage für die Mikrofabrikation von Halbleiterbauteilen aus.
• Reaktives Ionenätzsystem für Hochfrequenztechnik-Forschung: Ein Leibniz-Institut vergibt die Beschaffung einer RIE-Anlage für die Strukturierung von GaAs- und GaN-Halbleiterschichten.
• Wartungsvertrag für bestehende Trockenätzanlage: Eine Bundesforschungseinrichtung schreibt präventive Wartungs- und Kalibrierleistungen für ihre Prozessätzanlage im Reinraumlabor aus.

Aktuelle Ausschreibungen mit CPV 22520000 sind über TED (Tenders Electronic Daily) sowie auf nationalen Vergabeplattformen wie dem Deutschen Vergabeportal (DTVP) einsehbar.

Für wen ist CPV 22520000 relevant?

Öffentliche Auftraggeber

Zentrale Auftraggeber sind Forschungseinrichtungen wie die Fraunhofer-Gesellschaft und das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH (Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik) sowie Universitäten mit Reinraumlaboren und Mikrotechnologieanlagen. Sie beschaffen Trockenätzanlagen für die Grundlagenforschung in Mikroelektronik, Photonik und Nanotechnologie.

Unternehmen und Bieter

Typische Bieter sind spezialisierte Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen und Reinraumtechnologie, internationale Systemhersteller sowie autorisierte Händler und Systemintegratoren für Vakuum- und Plasmaprozessanlagen. Gefordert werden in der Regel Systemreferenzen in Reinraumumgebungen, Herstellerzertifizierungen und qualifiziertes Inbetriebnahme-Personal. Informationen zu Eignungs- und Vergabevorschriften bietet das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWE).

Wie hilft Bond bei CPV 22520000?

Tender Match – Ausschreibungen automatisch finden (CPV 22520000)

Mit tender.match erhalten Anbieter von Trockenätzausrüstung automatisch alle relevanten Ausschreibungen mit CPV 22520000 direkt in ihr Dashboard. BOND indexiert Ausschreibungen aus über 1.000 Vergabeportalen in der EU – von TED über nationale Plattformen bis hin zu Beschaffungsstellen von Forschungsorganisationen. Passende Ausschreibungen werden nach Region, Leistungsspektrum und Unternehmensprofil gefiltert und zugestellt. Eine automatisierte Gap-Analyse zeigt, wo das Unternehmen die Anforderungen erfüllt und wo Lücken bestehen.

Company Match – Die richtigen Partner und Zulieferer finden (CPV 22520000)

Für Unternehmen, die für komplexe Prozessanlagen-Projekte Komponentenlieferanten oder Servicekooperationspartner suchen, bietet company.match direkten Zugang zu qualifizierten Firmen aus einer EU-weiten Datenbank mit über 28 Mio. Unternehmen.

Häufige Fragen zu CPV 22520000

Was bedeutet der CPV-Code 22520000?

Der CPV-Code 22520000 steht für Trockenätzausrüstung – also hochspezialisierte Prozessanlagen wie Plasma- und reaktive Ionenätzsysteme für die Halbleiterfertigung und Mikrostrukturierung. Trotz der Klassifikation unter Abteilung 22 (Drucksachen) wird dieser Code für technische Forschungsanlagen in der Mikro- und Nanotechnologie genutzt.

Welche Vergabevorschriften gelten für Ausschreibungen mit CPV 22520000?

Als Lieferleistung gilt unterhalb der EU-Schwellenwerte die UVgO. Oberhalb der EU-Schwellenwerte für Lieferaufträge ist die VgV maßgeblich. Bei Beschaffungen durch öffentlich geförderte Forschungseinrichtungen gelten zusätzlich die Nebenbestimmungen des jeweiligen Zuwendungsgebers.

Wie finde ich Ausschreibungen mit CPV 22520000?

Ausschreibungen mit CPV 22520000 werden auf TED für europaweite Verfahren sowie auf nationalen Plattformen wie dem Deutschen Vergabeportal (DTVP) veröffentlicht. BOND aggregiert automatisch alle relevanten Ausschreibungen aus über 1.000 Portalen und filtert sie nach Unternehmensprofil und Region.